һ���a(ch��n)Ʒ��B

���⾀�������߂��T���@����(y��u)�c(di��n)����ݗ�Տ�(qi��ng)�ȷ�(w��n)���Ըߣ����������L(zh��ng)�_(d��)9000С�r(sh��)�����ø�͸�^��ʯӢ�����ܣ�͸���ʡ�87%���ښ��������_(d��)8000С�r(sh��)����ݗ�Տ�(qi��ng)����253.7nm���ַ�(w��n)����׃����ȇ���(n��i)ͬa(ch��n)Ʒ��ݗ�Տ�(qi��ng)�ȷ�(w��n)���Ը��ѡ�ͬ�r(sh��)����������r(sh��)��•���(b��o)�����ѣ��Ҳ��ø������R��������(y��ng)ǻ�O(sh��)Ӌ(j��)���c����ͬa(ch��n)Ʒ��ȣ�������(qi��ng)�������18% - 27%���������܉��_(d��)��99.99%��

���⾀���������w��(n��i)�������304L��316L���P䓲��|(zh��)�����w��(n��i)�ⲿ�M(j��n)�В���̎����������(qi��ng)���⾀ݗ�նȣ��_��������������������^���в���(hu��)���F(xi��n)�����������ȫ����r��

����ʹ�����c(di��n)������

���⾀�������O(sh��)Ӌ(j��)��������(y��u)��(sh��)���ࡣ��ˮ�����򡢟o���ǣ�����l�����ã��ܴ_������Ч���صס����⣬ԓ�O(sh��)���ܺĵ͡����b�`��㡣���w���ò��P䓲��|(zh��)�������˽����x�ӵ���Ⱦ���}���a(ch��n)Ʒ�Y(ji��)��(g��u)�����]������(n��i)��ʯӢ�׹�ʽ����(n��i)�������늚�����b�á����⾀���ܵ���Փ�����L(zh��ng)�_(d��)10000С�r(sh��)���_(d��)�����H���M(j��n)ˮƽ��

�a(ch��n)Ʒ�������^�󷽡��Y(ji��)��(g��u)�o���������S�޷��㣬�V���m���ڹ��V��I(y��)�����������e�^���C(j��)�P(gu��n)�W(xu��)У��Ұ��(zh��n)���(du��)��ʳƷ�ӹ����t(y��)ˎ�ИI(y��)���߼�ˮ�Ƃ䡢������(ch��ng)����ֱ�ӹ���õ����e�ØI(y��)���Լ�ˮ�в����S�������ȵ���ϻ������ИI(y��)��

�����a(ch��n)Ʒ���c(di��n)

1. ��Ѹ����Ч�ؚ�����N��(x��)����������΢���

2. ͨ�^������ã�����Ч����ˮ�е��Ȼ��

3. ������(ji��n)�Σ��S�o(h��)���㣻

4. ռ����eС��̎��ˮ����

5. �o��Ⱦ���h(hu��n)���ԏ�(qi��ng)������(hu��)�a(ch��n)���������ã�

6. Ͷ�Y�ɱ��ͣ��\(y��n)���M(f��i)�õͣ��O(sh��)�䰲�b���㣻

7. ���ù�W(xu��)ԭ���O(sh��)Ӌ(j��)�˪�(d��)�صă�(n��i)��̎����ˇ��ʹǻ�w��(n��i)��������޶ȵ��������⾀��ʹ����Ч���ɱ���ߡ�

�ġ��a(ch��n)Ʒ��(y��u)��(sh��)

1. ��Ч�ʚ��������⾀��(du��)��(x��)���������Ě�������һ����һ�����뼴���_(d��)��99% - 99.9%�Ě����ʡ�

2. ��Ч�����V�V�ԣ����⾀�����ďV�V������ߵģ�����(du��)�׺����еļ�(x��)�����������ܸ�Ч���硣

3. �o������Ⱦ�����⾀�����������κλ��W(xu��)ˎ�������������(hu��)��(du��)ˮ�w���܇��h(hu��n)���a(ch��n)��������Ⱦ���Ҳ���׃ˮ���κγɷ֡�

4. �\(y��n)�а�ȫ���ɿ������y(t��ng)���������g(sh��)������Ȼ������������������������nj��ڄ�������ȼ�����|(zh��)�������⾀����ϵ�y(t��ng)�������@�ӵİ�ȫ�[����

5. �O(sh��)�䱾�����\(y��n)�оS�o(h��)�M(f��i)�õͣ����⾀�����O(sh��)��ռ��С����(g��u)����Ҫ��(ji��n)�Σ���˿�Ͷ�Y�^�١����\(y��n)�з���ɱ�Ҳ�^�ͣ���ǧ��ˮ̎����ˮƽ�����ijɱ�ֻ����������1/2��

�塢��(y��ng)���I(l��ng)��

1. ��ˮ�������ԁ�ˮ��ֱ�ˮ������ˮ������ס����ǡ���^(q��)���k����ǵĶ��ι�ˮϵ�y(t��ng)�����^�����^��ˮ�ȡ�

2. ��ˮ����ˮ���硢�B(y��ng)ֳ��ˮ���~�������r���U�~��ؐ����B(y��ng)ֳ��ˮ��

3. ˮ�a(ch��n)�ӹ�����������ؐ����������~ӹ������Լ��ӹ���ˮ�ȡ�

4. ʳƷ�ӹ����I(y��)ˮ��������֭��ţ�̡���ϡ�ơ�ơ�ʳ���ͼ�����^�������Ʒ����ˮ������

5. ������W(xu��)��ˎ�����yƷ���a(ch��n)�ü���ˮ��

6. ��ӹ��I(y��)�ó���ˮ��

7. ��ˮ������������ˮ����ˮ���á��t(y��)Ժ��ˮ�������עˮ��

8. ѭ�h(hu��n)ˮ��������Ӿ��ˮ�����^ˮ�����I(y��)ѭ�h(hu��n)��sˮ��

9. �r(n��ng)�I(y��)�����ˮ��������ˮ��ˮ�w���塣

10. ܊�»��ء�Ұ�����I(y��)���w�C(j��)��Ş������ͧ��ˮ������